När den globala halvledarprocessen går mot avancerade noder på 3nm/2nm uppgraderas precisionsmaterial av titan (ASTM B265/B348, klass 1/2/5 hög-titan och titanlegeringar) från "hjälpmaterial" till viktiga strategiska material för halvledartillverkning, t.ex.{8} renhet, ultra-låga föroreningar, stark termisk stabilitet, korrosionsbeständighet och icke-magnetiska egenskaper. Marknadens uppmärksamhet och efterfrågan ökar synkront.
Kärndrivrutin: Avancerade processer tvingar fram materialuppgraderingar
Avancerade halvledarprocesser (5nm och lägre) kräver tre stora hårda kärnkrav för material: precision på nanometernivå, renhet på atomnivå och extrem miljöstabilitet:
-Högrent titanmålmaterial (Grad 1, renhet Större än eller lika med 99,999 %/5N): PVD-förstoftningskärnmaterial, som används för kopparinterconnect barriärskikt, kontaktplugg, för att förhindra kopparatomdiffusion från att kontaminera kiselskivor, vilket direkt bestämmer chiputbytet och prestanda130-n-processen, lämpar sig för hela chipets avkastning130-n.
-Precisionsstrukturkomponenter (Grad 2/5): arbetsbord för litografimaskin, etsmaskinkammare, vakuumfläns, waferrobotarm, etc., med en låg värmeutvidgningskoefficient (8,6 × 10 ⁻⁶/grad) och en temperaturfluktuationsdeformation på endast 1/3 av en luminansnivå, som ger en noggrannhet av en luminansnivå.
-Korrosionsbeständiga komponenter (Grad 7): Motståndskraftig mot stark syra/halogenkorrosion i våtetsnings- och rengöringsutrustning, utan förorening av metallutfällning, lämplig för extrema arbetsförhållanden med högt vakuum och stark plasma.
Kärnfördelarna med amerikansk standard titanmaterial
1. Ultrahög renhet+ultra-låga föroreningar: Amerikansk standard Grad 1 titan med hög-renhet med kontrollerbara syre-/kväve-/kolföroreningar<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Värmestabilitet+dimensionell precision: låg värmeledningsförmåga (21,9W/(m · K)), liten värmeutvidgningskoefficient, tolerans upp till ± 0,005 mm, ytjämnhet Ra Mindre än eller lika med 0,4 μm, lämplig för montering i nanoskala och vakuumförsegling.
3. Korrosionsbeständighet+icke-magnetisk+lågt gasutsläpp: naturligt oxidskikt självläkande-, resistent mot Cl ₂/F ₂/stark syrakorrosion; Icke magnetisk och inte störande precisionskretsar; Luftutsläppshastigheten är extremt låg under ultra-högvakuum (UHV), vilket säkerställer att kammaren är ren.
4. Lättvikt och hög hållfasthet: Densitet 4,51 g/cm³ (40 % lättare än rostfritt stål), draghållfasthet av grad 5 Större än eller lika med 930 MPa, specifik hållfasthet dubbelt så stor som för rostfritt stål, lämplig för lättviktskraven för rörliga delar med hög-hastighet.
Kärnapplikationsscenarier
-Högrent titanmålmaterial (Grad 1): PVD-förstoftningsdeposition, som används för logik/lagringschipbarriärskikt och adhesivskikt, med en global marknadsstorlek på 1,87 miljarder US-dollar 2024 och en CAGR på 9,3 % från 2026 till 2030.
-Vakuumkammare/-fläns (Grad 2): Vakuumsystem för etsnings- och deponeringsutrustning, resistent mot högt tryck, låg gasutsläpp och tillförlitlig tätning.
-Precisionsrobotarm/ändeffektor (Grad 5): waferöverföring, lätt och hög-hållfasthet, exakt positionering och ingen partikelavgivning.
-Korrosionsbeständigt foder/fixtur (Grad 7): Våt processutrustning, resistent mot starka syror som HF/HCl, förlänger utrustningens livslängd och minskar underhållskostnaderna.
Marknadstrend: inhemsk substitution+tekniskt genombrott
Utbyggnaden av den globala halvledarkapaciteten (särskilt på det kinesiska fastlandet) har drivit på den snabba tillväxten av efterfrågan på precisionsmaterial av titan. År 2023 kommer marknadsstorleken för Kinas titanprecisionsdelar för halvledare att överstiga 3 miljarder yuan, med en årlig tillväxttakt på mer än 25%. Stabil massproduktion av amerikansk standard Grade 1/2/5 precision titan material (inklusive 0,05 mm ultra-tunn titanfolie, hög-målmaterial med hög renhet och precision strukturella komponenter) har uppnåtts, med toleranser och renhet som når internationella avancerade nivåer, vilket hjälper halvledarindustrin att vara oberoende av styrbar kedja.
Under avancerade processer och inhemsk ersättning av dubbelhjulsdrift har precisionsmaterial av titan som uppfyller amerikanska standarder blivit kärnstödet för uppgraderingen av halvledarindustrin. I framtiden kommer de att fortsätta att slå igenom mot högre renhet (6N), tunnare specifikationer (Mindre än eller lika med 0,05 mm) och mer exakt bearbetning (± 0,002 mm).
Begär en offert
E-post:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
